Um tipo de tecnologia da posição do espelho determinada no interferômetro óptico

Resumo:

Um tipo de sistema interferômetro MEMS (sistema microeletromecânico) (MEMS) usa a posição do espelho móvel de determinação do circuito sensor de capacitância. Atuador eletrostático MEMS para espelho móvel para causar seu deslocamento. O circuito sensor de capacitância detecta a capacitância presente do atuador MEMS e a posição da capacitância presente no espelho móvel de determinação baseado no atuador MEMS.