UNIDADE ESPECTRAL INTEGRADA

Resumo:

Os aspectos da divulgação estão relacionados a uma unidade espectral integrada, incluindo um interferômetro de sistemas microeletromecânicos (MEMS) fabricado dentro de um primeiro substrato e uma estrutura de redirecionamento de luz integrada em um segundo substrato, onde o segundo substrato é acoplado ao primeiro substrato. A estrutura de redirecionamento de luz inclui pelo menos um espelho para receber um feixe de luz de entrada se propagando em uma direção fora do plano em relação ao primeiro substrato e redirecionando o feixe de luz de entrada para uma direção no plano em relação ao primeiro substrato em direção ao interferômetro MEMS.