หน่วยสเปกตรัมแบบบูรณาการ

บทคัดย่อ:

แง่มุมของการเปิดเผยเกี่ยวข้องกับหน่วยสเปกตรัมแบบบูรณาการ รวมถึงอินเตอร์เฟอโรมิเตอร์ระบบกลไกขนาดเล็ก (MEMS) ที่ประดิษฐ์ภายในสารตั้งต้นแรกและโครงสร้างการเปลี่ยนเส้นแสงที่รวมอยู่ในพื้นผิวที่สอง โดยที่สารตั้งต้นที่สองเชื่อมต่อกับสารตั้งต้นแรกโครงสร้างการเปลี่ยนเส้นแสงประกอบด้วยกระจกอย่างน้อยหนึ่งแก้วสำหรับรับลำแสงอินพุตที่แพร่กระจายในทิศทางนอกระนาบเมื่อเทียบกับพื้นผิวแรกและเปลี่ยนเส้นลำแสงอินพุตไปยังทิศทางในระนาบเมื่อเทียบกับสารตั้งต้นแรกไปยังอินเตอร์เฟอโรมิเตอร์ MEMS