集成光谱单元

摘要：

披露内容涉及集成光谱单元，包括在第一衬底内制造的微机电系统（MEMS）干涉仪和集成在第二衬底上的光重定向结构，其中第二衬底与第一衬底耦合。光重定向结构包括至少一个反射镜，用于接收相对于第一衬底以平面外方向传播的输入光束，并将输入光束重定向到相对于第一衬底的面内方向，朝向微机电系统干涉仪。