SYSTÈME, PROCÉDÉ ET APPAREIL POUR UN INTERFÉROMÈTRE MICRO-USINÉ UTILISANT UNE DIVISION OPTIQUE

Résumé :

Un interféromètre micro-usiné (10) est obtenu à l'aide d'un diviseur de faisceau demi-plan. Le séparateur de faisceau est couplé optiquement pour recevoir un faisceau incident (I) et fonctionne pour diviser le faisceau incident en deux faisceaux interférents (L1 et L2), chacun se propageant dans un milieu différent. Un miroir fixe (M2) intégré dans l'un des supports réfléchit l'un des faisceaux interférents (L2) vers le séparateur de faisceau demi-plan à travers ce support, tandis qu'un miroir mobile (M1), qui est commandé par un actionneur (40), réfléchit l'autre faisceau interférant (L1) vers ledit séparateur de faisceau demi-plan à travers l'autre support. Un plan de détection (D1 ou D2) détecte un motif d'interférence produit à la suite d'une interférence entre les faisceaux interférents réfléchis (L3 et L4).