ระบบวิธีการและอุปกรณ์สำหรับอินเตอร์เฟอโรมิเตอร์แบบไมโครเครื่องโดยใช้การแยกออปติคัล

บทคัดย่อ:

อินเตอร์เฟอโรมิเตอร์แบบไมโครเครื่อง (10) ทำได้โดยใช้ตัวแยกลำแสงครึ่งระนาบตัวแยกลำแสงถูกรวมเข้าด้วยกันเพื่อรับลำแสงที่กระทบ (I) และทำงานเพื่อแยกลำแสงที่ตกเป็นลำแสงที่รบกวนสองลำแสง (L1 และ L2) โดยแต่ละลำแพร่กระจายในสื่อที่แตกต่างกันกระจกคงที่ (M2) ที่ฝังอยู่ในสื่อใดตัวหนึ่งสะท้อนแสงลำแสงรบกวน (L2) กลับไปยังตัวแยกลำแสงครึ่งระนาบผ่านสื่อดังกล่าว ในขณะที่กระจกเคลื่อนได้ (M1) ซึ่งควบคุมโดยแอคทูเอเตอร์ (40) สะท้อนลำแสงที่รบกวนอื่น (L1) กลับไปยังตัวแยกลำแสงครึ่งระนาบดังกล่าวผ่านสื่ออื่นระนาบตรวจจับ (D1 หรือ D2) ตรวจจับรูปแบบการรบกวนที่เกิดจากการรบกวนระหว่างลำแสงรบกวนสะท้อน (L3 และ L4)