SISTEMA, MÉTODO E APARELHO PARA UM INTERFERÔMETRO MICROUSINADO USANDO DIVISÃO ÓPTICA

Resumo:

Um interferômetro microusinado (10) é obtido usando um divisor de feixe de meio plano. O divisor de feixe é acoplado opticamente para receber um feixe incidente (I) e opera para dividir o feixe incidente em dois feixes interferentes (L1 e L2), cada um se propagando em um meio diferente. Um espelho fixo (M2) embutido em um dos meios reflete um dos feixes interferentes (L2) de volta para o divisor de feixe de meio plano através desse meio, enquanto um espelho móvel (M1), que é controlado por um atuador (40), reflete o outro feixe interferente (L1) de volta para o referido divisor de feixe de meio plano através do outro meio. Um plano de detecção (D1 ou D2) detecta um padrão de interferência produzido como resultado da interferência entre os feixes interferentes refletidos (L3 e L4).