Auto-étalonnage pour le positionnement des miroirs dans les interféromètres MEMS optiques

Résumé :

Les systèmes microélectromécaniques (MEMS) permettent d'auto-étalonner le positionnement du miroir mobile d'un interféromètre. Au moins un miroir du dispositif MEMS comprend une surface non plane. Le miroir mobile est couplé à un actionneur MEMS à capacité variable. Le dispositif MEMS comprend un circuit de détection capacitif destiné à déterminer une capacité de l'actionneur MEMS à une pluralité de positions de référence du miroir mobile correspondant à une rafale centrale et à une ou plusieurs rafales secondaires d'interférogrammes générés par l'interféromètre sur la base de la surface non plane. Le module d'étalonnage utilise la capacité de l'actionneur à la position de référence pour compenser toute dérive dans le circuit de détection capacitif.