Autocalibração para posicionamento de espelho em interferômetros MEMS ópticos

Resumo:

Os dispositivos de Sistemas Microeletromecânicos (MEMS) fornecem autocalibração do posicionamento do espelho de um espelho móvel de um interferômetro. Pelo menos um espelho no dispositivo MEMS inclui uma superfície não plana. O espelho móvel é acoplado a um atuador MEMS com uma capacitância variável. O dispositivo MEMS inclui um circuito de detecção capacitivo para determinar a capacitância do atuador MEMS em uma pluralidade de posições de referência do espelho móvel correspondentes a uma explosão central e uma ou mais explosões secundárias de interferogramas gerados pelo interferômetro com base na superfície não plana. O módulo de calibração usa a capacitância do atuador na posição de referência para compensar qualquer desvio no circuito de detecção capacitiva.