การสอบเทียบด้วยตนเองสำหรับการวางตำแหน่งกระจกในอินเตอร์เฟอโรมิเตอร์ MEMS แบบออปติคั

บทคัดย่อ:

อุปกรณ์ Microelectromechanical Systems (MEMS) ให้การสอบเทียบตำแหน่งกระจกของกระจกที่เคลื่อนย้ายได้ของอินเตอร์เฟอโรมิเตอร์ด้วยตนเองอย่างน้อยหนึ่งกระจกในอุปกรณ์ MEMS ประกอบด้วยพื้นผิวที่ไม่ใช่ระนาบกระจกแบบเคลื่อนย้ายได้ถูกเชื่อมต่อกับแอคทูเอเตอร์ MEMS ที่มีความจุแบบผันแปรอุปกรณ์ MEMS ประกอบด้วยวงจรตรวจจับแบบคาปาซิทีฟสำหรับการกำหนดความจุของแอคทูเอเตอร์ MEMS ที่ตำแหน่งอ้างอิงจำนวนมากของกระจกที่เคลื่อนย้ายได้ที่สอดคล้องกับระเบิดส่วนกลางและอินเตอร์เฟอโรแกรมทุติยภูมิอย่างน้อยหนึ่งรายการที่สร้างโดยอินเตอร์เฟอโรมิเตอร์ตามพื้นผิวที่ไม่เรียบโมดูลการสอบเทียบใช้ความจุของแอคชูเอเตอร์ที่ตำแหน่งอ้างอิงเพื่อชดเชยการดริฟต์ใด ๆ ในวงจรตรวจจับแบบ Capacitive