MICROMIROIR PERFORÉ INTÉGRÉ ET SES APPLICATIONS

Résumé :

Un micromiroir à ouvertures intégré est prévu, le micromiroir étant intégré de manière monolithique à un banc micro-optique fabriqué sur un substrat à l'aide d'une technique de lithographie et de gravure profonde. Le micromiroir comporte une ouverture et est orienté de telle sorte que le micromiroir est couplé optiquement pour recevoir un faisceau incident ayant un axe optique dans un plan du substrat et pour transmettre au moins partiellement le faisceau incident à travers celui-ci via l'ouverture.