ไมโครมิเรอร์แบบรูรับแสงในตัวและการใช้งาน

บทคัดย่อ:

มีไมโครมิเรอร์แบบรูรับแสงแบบบูรณาการซึ่งไมโครมิเรอร์ถูกผสานเข้ากับม้านั่งไมโครออปติคอลที่ประดิษฐ์บนพื้นผิวโดยใช้เทคนิคการแกะสลักและการแกะสลักแบบลึกไมโครมิเรอร์มีรูรับแสงในนั้นและมุ่งเน้นเพื่อให้ไมโครมิเรอร์จับคู่ด้วยแสงเพื่อรับลำแสงที่ตกที่มีแกนออปติคอลในระนาบของพื้นผิวและอย่างน้อยก็ส่งลำแสงที่เกิดขึ้นผ่านรูรับแสงบางส่วน