MICROESPEJO CON ABERTURA INTEGRADO Y APLICACIONES DEL MISMO

Resumen:

Se proporciona un microespejo con aberturas integrado en el que el microespejo está integrado monolíticamente con un banco microóptico fabricado sobre un sustrato utilizando una técnica litográfica y de grabado profundo. El microespejo tiene una abertura en su interior y está orientado de tal manera que el microespejo se acopla ópticamente para recibir un haz incidente que tenga un eje óptico en un plano del sustrato y para transmitir, al menos parcialmente, el haz incidente a través del mismo a través de la abertura.