UNE TECHNIQUE POUR DÉTERMINER LA POSITION DU MIROIR DANS LES INTERFÉROMÈTRES OPTIQUES
Résumé :
Un système interférométrique à microsystème électromécanique (MEMS) utilise un circuit de détection capacitif pour déterminer la position d'un miroir mobile. Un actionneur MEMS électrostatique est couplé au miroir mobile pour provoquer son déplacement. Le circuit de détection capacitif détecte la capacité actuelle de l'actionneur MEMS et détermine la position du miroir mobile sur la base de la capacité actuelle de l'actionneur MEMS.
Des images
13/044238
états-unis
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inventeur :
Bassam A. Saadany, Amr N. Hafez, Mostafa Medhat, Hisham Haddara
cessionnaire actuel :
Systèmes SI Ware SAE SI Ware Systems Inc.
État :
Allowed
Date de statut :
October 28, 2014
domaine :
Systèmes SI Ware SAE SI Ware Systems Inc.
applications dans le monde entier :
2015. États-Unis 2026. kr au ca wo es el cn mx jp. 2017. États-Unis 2018. il
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