UMA TÉCNICA PARA DETERMINAR A POSIÇÃO DO ESPELHO EM INTERFERÔMETROS ÓPTICOS

Resumo:

Um sistema interferômetro do Micro Electro-Mechanical System (MEMS) utiliza um circuito de detecção capacitiva para determinar a posição de um espelho móvel. Um atuador eletrostático MEMS é acoplado ao espelho móvel para causar um deslocamento do mesmo. O circuito de detecção capacitiva detecta a capacitância atual do atuador MEMS e determina a posição do espelho móvel com base na capacitância atual do atuador MEMS.