UNA TÉCNICA PARA DETERMINAR LA POSICIÓN DEL ESPEJO EN INTERFERÓMETROS ÓPTICOS

Resumen:

Un sistema de interferómetro con sistema microelectromecánico (MEMS) utiliza un circuito de detección capacitiva para determinar la posición de un espejo móvil. Un actuador MEMS electrostático se acopla al espejo móvil para provocar su desplazamiento. El circuito de detección capacitiva detecta la capacitancia actual del actuador MEMS y determina la posición del espejo móvil en función de la capacitancia actual del actuador MEMS.