ATUADOR MEMS DE LONGO ALCANCE

Resumo:

Um atuador eletrostático de acionamento por pente para um dispositivo MEMS inclui um conjunto de mola de flexão e o primeiro e o segundo conjuntos de acionamento por pente, cada um acoplado ao conjunto de mola de flexão em lados opostos. Cada um dos primeiros e segundos conjuntos de pente inclui dedos de acionamento de pente fixos e dedos de acionamento de pente móveis acoplados ao conjunto da mola de flexão e que se estendem em direção aos dedos de acionamento fixos do pente. Os dedos de acionamento por pente são divididos igualmente entre o primeiro e o segundo conjuntos de acionamento por pente e colocados simetricamente em torno de um eixo de simetria do conjunto da mola de flexão. Quando energizados eletricamente, os dedos móveis do pente do primeiro e do segundo conjuntos de acionamento por pente se movem simultaneamente em direção aos dedos fixos do primeiro e do segundo conjuntos de acionamento por pente.