ACTUADOR MEMS DE LARGO ALCANCE

Resumen:

Un actuador de accionamiento de peine electrostático para un dispositivo MEMS incluye un conjunto de resorte de flexión y un primer y un segundo conjuntos de accionamiento de peine, cada uno acoplado al conjunto de resorte de flexión en lados opuestos del mismo. Cada uno de los conjuntos de peine primero y segundo incluye dedos impulsores de peine fijos y dedos impulsores de peine móviles acoplados al conjunto de muelles de flexión y que se extienden hacia los dedos impulsores de peine fijos. Los dedos impulsores del peine se dividen en partes iguales entre el primer y el segundo conjunto de accionamiento del peine y se colocan simétricamente alrededor de un eje de simetría del conjunto de resorte de flexión. Cuando están energizados eléctricamente, los dedos de accionamiento de peine móviles del primer y segundo conjuntos de accionamiento de peine se mueven simultáneamente hacia los dedos de accionamiento de peine fijos del primer y segundo conjuntos de accionamiento de peine.