ARQUITETURA DE ESPECTRÔMETRO MEMS FT-IR COMPENSADO

Resumo:

A arquitetura de um espectrômetro de Micro Sistema Eletro-Mecânico (MEMS) compensa os problemas de verticalidade e dispersão usando interfaces de balanceamento. Um espectrômetro/interferômetro MEMS inclui um divisor de feixe formado na primeira superfície de um primeiro meio em uma interface entre o primeiro meio e um segundo meio, um primeiro espelho formado em uma segunda superfície do primeiro meio, um segundo espelho formado em uma terceira superfície do primeiro meio e interfaces de balanceamento projetadas para minimizar a diferença nos ângulos de inclinação entre as superfícies e a diferença nos erros de fase entre os feixes refletidos do primeiro e do segundo espelhos.