补偿微机电系统 FT-IR 光谱仪架构

摘要：

微机电系统 (MEMS) 光谱仪架构使用平衡接口补偿垂直度和色散问题。微机电系统光谱仪/干涉仪包括在第一介质第一表面和第二介质之间的界面处形成的分束器，在第一介质的第二表面形成的第一反射镜，在第一介质的第三表面形成的第二反射镜，以及旨在最大限度地减少表面之间倾斜角差异以及第一和第二反射镜反射光束之间相位误差差异的平衡接口。