UM MULTIPLICADOR OPTO-MECÂNICO DE RETARDO DE CAMINHO ÓPTICO PARA APLICAÇÕES DE MEMS ÓPTICOS

Resumo:

As modalidades da presente invenção fornecem um dispositivo óptico de sistema microeletromecânico (MEMS) que fornece um multiplicador de retardo de caminho óptico. O dispositivo MEMS inclui um refletor de cubo de canto móvel, um espelho fixo e um atuador MEMS. O refletor móvel do cubo de canto é acoplado opticamente para receber um feixe incidente em uma borda do refletor do cubo de canto e operável para refletir o feixe incidente de outra borda do refletor do cubo de canto. O espelho fixo é acoplado opticamente para receber o feixe incidente refletido pelo refletor móvel do cubo de canto e operável para refletir o feixe incidente de volta para o refletor móvel do cubo de canto como um feixe refletido ao longo de um caminho inverso do feixe incidente. O atuador MEMS é acoplado ao refletor móvel do cubo de canto para causar um deslocamento do refletor do cubo de canto móvel perpendicular a um plano do espelho fixo para estender o comprimento do caminho óptico do feixe refletido.