ตัวคูณการหน่วงเส้นทางออปติคอลเชิงกลสำหรับแอปพลิเคชันเมมออปติคัล

บทคัดย่อ:

รูปแบบของการประดิษฐ์นี้มีอุปกรณ์ระบบไฟฟ้าแบบออปติคอล Micro (MEMS) ที่ให้ตัวคูณความหน่วงของเส้นทางออปติคอลอุปกรณ์ MEMS ประกอบด้วยตัวสะท้อนแสงมุมลูกบาศก์แบบเคลื่อนย้ายได้ กระจกคงที่ และตัวกระตุ้น MEMSตัวสะท้อนแสงมุมลูกบาศก์ที่เคลื่อนย้ายได้ถูกจับคู่ด้วยแสงเพื่อรับลำแสงที่ตกที่ขอบด้านหนึ่งของตัวสะท้อนแสงลูกบาศก์มุมและสามารถสะท้อนลำแสงที่ตกจากขอบอีกด้านหนึ่งของตัวสะท้อนแสงลูกบาศก์มุมกระจกคงที่ถูกรวมเข้าด้วยกันเพื่อรับลำแสงที่ตกสะท้อนจากตัวสะท้อนแสงมุมลูกบาศก์ที่เคลื่อนย้ายได้และสามารถสะท้อนลำแสงที่ตกกลับไปยังตัวสะท้อนแสงมุมลูกบาศก์ที่เคลื่อนย้ายได้ในฐานะลำแสงสะท้อนตามเส้นทางย้อนกลับของลำแสงที่กระทบตัวกระตุ้น MEMS ถูกเชื่อมต่อกับตัวสะท้อนแสงมุมลูกบาศก์ที่เคลื่อนย้ายได้เพื่อทำให้ตัวสะท้อนสะท้อนมุมลูกบาศก์ที่เคลื่อนย้ายได้มีการเคลื่อนย้ายในแนวตั้งฉากกับระนาบของกระจกคงที่เพื่อขยายความยาวเส้นทางแสงของลำแสงสะท้อน