ARQUITECTURA DE ESPECTRÓMETRO MEMS FT-IR COMPENSADO

Resumen:

La arquitectura de un espectrómetro de sistema microelectromecánico (MEMS) compensa los problemas de verticalidad y dispersión mediante interfaces de equilibrio. Un espectrómetro/interferómetro MEMS incluye un divisor de haz formado en una primera superficie de un primer medio en una interfaz entre el primer medio y un segundo medio, un primer espejo formado en una segunda superficie del primer medio, un segundo espejo formado en una tercera superficie del primer medio e interfaces de equilibrio diseñadas para minimizar tanto la diferencia en los ángulos de inclinación entre las superficies como la diferencia en los errores de fase entre los haces reflejados desde el primer y el segundo espejo.