สถาปัตยกรรมสเปกโตรมิเตอร์ MEMS FT-IR แบบชดเช

บทคัดย่อ:

สถาปัตยกรรมสเปกโตรมิเตอร์ระบบไฟฟ้ากลไกขนาดเล็ก (MEMS) ชดเชยปัญหาด้านแนวตั้งและการกระจายตัวโดยใช้อินเทอร์เฟซการปรับสมดุลสเปกโตรมิเตอร์/อินเตอร์เฟอโรมิเตอร์ MEMS ประกอบด้วยตัวแยกลำแสงที่เกิดขึ้นบนพื้นผิวแรกของสื่อแรกที่อินเทอร์เฟซระหว่างสื่อแรกและสื่อที่สอง กระจกแรกที่เกิดขึ้นบนพื้นผิวที่สองของสื่อแรก กระจกที่สองที่เกิดขึ้นบนพื้นผิวที่สามของสื่อแรก และอินเทอร์เฟซสมดุลที่ออกแบบมาเพื่อลดความแตกต่างของมุมเอียงระหว่างพื้นผิวและความแตกต่างของข้อผิดพลาดเฟสระหว่างลำแสงที่สะท้อนจากกระจกแรกและที่สอง