超广角 MEMS 扫描器

摘要：

本发明一般涉及光学微机电系统，更具体地说，涉及使用微机电系统的光学扫描仪。 微型机电系统 (MEMS) 是指通过微细加工技术将机械元件、传感器、执行器和电子设备（电子设备）集成到普通硅衬底上。要做。例如，微电子通常使用集成电路（IC）工艺制造，而微机械组件则使用与该过程类似的微加工工艺来选择硅晶片的某些部分。它是通过蚀刻或添加新的结构层来形成机械零件和机电零件来生产的。微机电系统器件成本低廉，可以批量生产，并且与标准微电子设备兼容，因此它们可用于光谱测量、形状测量、环境传感、折射率测量（或材料识别）和其他传感器应用这是一种有吸引力的候选产品。此外，由于MEMS设备体积小，因此可以将MEMS设备集成到移动设备或手持设备中。