เครื่องสแกนเนอร์ MEMS มุมกว้างพิเศษ

บทคัดย่อ:

การประดิษฐ์นี้โดยทั่วไปเกี่ยวข้องกับ MEMS แบบออปติคัล และโดยเฉพาะอย่างยิ่งกับเครื่องสแกนออปติคอลที่ใช้ MEMS Micro Electro-Mechanical System (MEMS) หมายถึงการรวมองค์ประกอบทางกล เซ็นเซอร์ แอคชูเอเตอร์ และอิเล็กทรอนิกส์ (อุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์) บนพื้นผิวซิลิคอนทั่วไปโดยเทคโนโลยีไมโครฟาบริเคชั่นที่จะทำตัวอย่างเช่น ไมโครอิเล็กทรอนิกส์มักถูกประดิษฐ์โดยใช้กระบวนการวงจรรวม (IC) ในขณะที่ส่วนประกอบไมโครกลใช้กระบวนการไมโครแมชชีนนิ่งที่คล้ายกับกระบวนการนั้นเพื่อเลือกบางส่วนของเวเฟอร์ซิลิกอนผลิตโดยการขึ้นรูปชิ้นส่วนกลและชิ้นส่วนเครื่องกลไฟฟ้าโดยการแกะสลักหรือเพิ่มชั้นโครงสร้างใหม่อุปกรณ์ MEMS มีราคาประหยัดสามารถผลิตเป็นชุดและเข้ากันได้กับไมโครอิเล็กทรอนิกส์มาตรฐานดังนั้นจึงสามารถใช้สำหรับการวัดสเปกโตรสโคปการวัดรูปร่างการตรวจจับสิ่งแวดล้อมการวัดดัชนีหักเหของแสง (หรือการจดจำวัสดุ) และการใช้งานเซ็นเซอร์อื่น ๆ ผู้สมัครที่น่าสนใจเหมาะสำหรับนอกจากนี้เนื่องจากอุปกรณ์ MEMS มีขนาดเล็กอุปกรณ์ MEMS จึงสามารถรวมเข้ากับอุปกรณ์มือถือหรืออุปกรณ์มือถือได้