集成光谱单元

摘要：

该申请在2016年6月15日向美国专利商标局提交的第62/350,486号临时申请中要求优先权和利益。出于所有适用目的，所有内容均以引用方式纳入此处，就好像它们已在下文进行了完整描述一样。 下述技术涉及用于干扰测量和光谱分析的集成干涉测量设备，尤其是基于集成微机电系统 (MEMS) 的干涉测量设备。