หน่วยสเปกตรัมแบบบูรณาการ

บทคัดย่อ:

ใบสมัครนี้เรียกร้องความสำคัญและผลประโยชน์ในใบสมัครชั่วคราวหมายเลข 62/350,486 ที่ยื่นต่อสำนักงานสิทธิบัตรและเครื่องหมายการค้าของสหรัฐอเมริกาเมื่อวันที่ 15 มิถุนายน 2559เนื้อหาทั้งหมดถูกรวมไว้ในที่นี่โดยการอ้างอิงราวกับว่ามีการอธิบายอย่างเต็มที่ด้านล่างเพื่อวัตถุประสงค์ที่เกี่ยวข้องทั้งหมด เทคนิคที่อธิบายไว้ด้านล่างเกี่ยวข้องกับอุปกรณ์อินเตอร์เฟอโรเมตริกซ์แบบบูรณาการสำหรับการวัดสัญญาณรบกวนและการวิเคราะห์สเปกตรัม โดยเฉพาะอย่างยิ่งกับอุปกรณ์อินเตอร์เฟอโรเมตริกที่ใช้ microelectromechanical system (MEMS) แบบบูรณาการ