SISTEMA, MÉTODO Y APARATO PARA UN INTERFERÓMETRO MICROMECANIZADO QUE USA DIVISIÓN ÓPTICA

Resumen:

Se logra un interferómetro micromecanizado (10) utilizando un divisor de haz semiplano. El divisor de haz está acoplado ópticamente para recibir un haz incidente (I) y funciona para dividir el haz incidente en dos haces interferentes (L1 y L2), cada uno de los cuales se propaga en un medio diferente. Un espejo fijo (M2) incrustado en uno de los medios refleja uno de los haces interferentes (L2) de vuelta hacia el divisor de haz semiplano a través de dicho medio, mientras que un espejo móvil (M1), que está controlado por un actuador (40), refleja el otro haz interferente (L1) de vuelta hacia dicho divisor de haz semiplano a través del otro medio. Un plano de detección (D1 o D2) detecta un patrón de interferencia producido como resultado de la interferencia entre los haces interferentes reflejados (L3 y L4).