使用光学分裂的微机械干涉仪的系统、方法和装置

摘要：

使用半平面分束器实现微机械干涉仪 (10)。光束分离器通过光学耦合来接收入射光束（I），并将入射光束分成两个干扰光束（L1 和 L2），每个光束在不同的介质中传播。嵌入其中一种介质中的固定反射镜（M2）通过该介质将其中一束干扰光束（L2）反射回半平面分束器，而由执行器（40）控制的可移动反射镜（M1）通过另一种介质将另一干扰光束（L1）反射回所述半平面分束器。探测平面（D1 或 D2）可检测由于反射干扰光束（L3 和 L4）之间的干涉而产生的干涉图案。