UNIDAD ESPECTRAL INTEGRADA

Resumen:

Los aspectos de la descripción se refieren a una unidad espectral integrada que incluye un interferómetro de sistemas microelectromecánicos (MEMS) fabricado dentro de un primer sustrato y una estructura de redirección de la luz integrada en un segundo sustrato, donde el segundo sustrato está acoplado al primer sustrato. La estructura de redireccionamiento de la luz incluye al menos un espejo para recibir un haz de luz de entrada que se propaga en una dirección fuera del plano con respecto al primer sustrato y redirigir el haz de luz de entrada a una dirección en el plano con respecto al primer sustrato hacia el interferómetro MEMS.