หน่วยสเปกตรัมแบบบูรณาการ

บทคัดย่อ:

แง่มุมของการเปิดเผยเกี่ยวข้องกับหน่วยสเปกตรัมแบบบูรณาการ รวมถึงอินเตอร์เฟอโรมิเตอร์ระบบกลไกขนาดเล็ก (MEMS) ที่ประดิษฐ์ภายในสารตั้งต้นแรกแห้งโครงสร้างการเปลี่ยนเส้นแสง - รวมอยู่บนพื้นผิวที่สอง ซึ่งสารตั้งต้นที่สองถูกรวมเข้ากับสารตั้งต้นแรกโครงสร้างการเปลี่ยนเส้นแสงประกอบด้วยกระจกอย่างน้อยหนึ่งแก้วสำหรับรับลำแสงอินพุตที่แพร่กระจายในทิศทางนอกระนาบโดยเทียบกับพื้นผิวแรกและเปลี่ยนเส้นลำแสงอินพุตไปยังทิศทางในระนาบเมื่อเทียบกับสารตั้งต้นแรกไปยังอินเตอร์เฟอโรมิเตอร์ MEMS