使用光学分裂的微机械干涉仪的系统、方法和装置

摘要：

微机械干涉仪是使用半平面分束器实现的。光束分离器通过光学耦合来接收入射光束，并起作用是将入射光束分成两束干扰光束，每束在不同的介质中传播。嵌入其中一种介质中的固定反射镜通过这种介质将其中一种干扰光束反射回半平面分束器，而由执行器控制的可移动反射镜通过另一种介质将另一束干扰光束反射回所述半平面分束器。探测平面检测由于反射干扰光束之间的干扰而产生的干扰图案。