ระบบวิธีการและอุปกรณ์สำหรับอินเตอร์เฟอโรมิเตอร์แบบไมโครเครื่องโดยใช้การแยกออปติคัล

บทคัดย่อ:

อินเตอร์เฟอโรมิเตอร์แบบไมโครเครื่องทำได้โดยใช้ตัวแยกลำแสงครึ่งระนาบตัวแยกลำแสงถูกรวมเข้าด้วยกันเพื่อรับลำแสงที่ตกและทำงานเพื่อแยกลำแสงที่ตกเป็นสองลำแสงที่รบกวนแต่ละลำจะแพร่กระจายในสื่อที่แตกต่างกันกระจกคงที่ฝังอยู่ในสื่อใดตัวหนึ่งสะท้อนลำแสงหนึ่งที่รบกวนกลับไปยังตัวแยกลำแสงครึ่งระนาบผ่านสื่อดังกล่าว ในขณะที่กระจกเคลื่อนที่ได้ซึ่งควบคุมโดยตัวกระตุ้นจะสะท้อนลำแสงที่รบกวนอีกลำแสงกลับไปยังตัวแยกลำแสงครึ่งระนาบดังกล่าวผ่านสื่ออื่นระนาบการตรวจจับตรวจจับรูปแบบการรบกวนที่เกิดจากการรบกวนระหว่างลำแสงรบกวนที่สะท้อนให้เห็น