สถาปัตยกรรมเครื่องสแกนเมมมุมกว้างพิเศษ

บทคัดย่อ:

ไมโครสแกนเนอร์ออปติคอลสามารถหมุนได้มุมกว้างโดยใช้ตัวสะท้อนแสงโค้งไมโครสแกนเนอร์ออปติคอลประกอบด้วยกระจกแบบเคลื่อนย้ายได้สำหรับรับลำแสงที่ตกและสะท้อนลำแสงที่ตกเพื่อสร้างลำแสงสะท้อนและตัวกระตุ้นระบบไฟฟ้ากลไกขนาดเล็ก (MEMS) ที่ทำให้เกิดการเคลื่อนที่เชิงเส้นของกระจกเคลื่อนที่ได้ตัวสะท้อนแสงโค้งทำให้เกิดการหมุนเชิงมุมของลำแสงสะท้อนตามการเคลื่อนที่เชิงเส้นของกระจกเคลื่อนที่ได้