Autocalibración para el posicionamiento del espejo en interferómetros MEMS ópticos
Resumen:
Imágenes
JP 2018530588
estados unidos
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inventor:
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cesionario actual:
Sistemas Si Ware (SI Ware Systems Inc.)
Estado:
Granted
Fecha de estado:
June 17, 2020
dominio:
Sistemas Si Ware (SI Ware Systems Inc.)
aplicaciones en todo el mundo:
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