长行程范围 mems 执行器

摘要：

用于微机电系统设备的静电梳状驱动执行器包括弯曲弹簧组件以及第一和第二梳状驱动组件，每个组件都与其相对侧的柔性弹簧组件耦合。第一和第二梳子组件均包括固定的梳子驱动手指和可移动的梳子驱动手指，它们耦合到柔性弹簧组件，并向固定梳子驱动手指延伸。梳子驱动指在第一和第二梳子驱动组件之间平均分配，并围绕柔性弹簧组件的对称轴对称放置。通电时，第一和第二梳子驱动组件的可移动梳子驱动指同时向第一和第二梳子驱动组件的固定梳子驱动指移动。