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包含三维曲面光学元件的集成式单片光学平台及其制造方法

摘要:

光学系统,例如集成的单片光学平台,包括蚀刻在衬底上的三维曲面光学元件,使光学系统的光轴位于衬底内并平行于衬底平面。

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美国
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发明家:
Yasser M. Sabry、Tarik E. Bourouina、Bassam A. Saadany、Diaa A.M. Khalil
当前受让人:
SI Ware Si系统 SAE SI Ware 系统公司
状态:
Allowed
状态日期:
June 2, 2015
域:
SI Ware Si系统 SAE SI Ware 系统公司
全球应用程序:
2015. 美国。2026。kr au ca wo es ep cn mx jp. 2017。2017 年美国。2018 年美国。il

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