适用于光学微机电系统应用的光学机械光路延迟倍增器

摘要：

光学微机电系统 (MEMS) 设备提供光路延迟倍增器。该微机电系统设备包括一个可移动的角立方体反射镜、一个固定的小反射镜和一个微机电系统致动器。可移动的角立方体反射器经过光学耦合，以接收入射光束并将入射光束反射到 180 度向固定反射镜。固定的微调通过光学耦合，沿着入射光束的反向路径将反射光束反射回可移动的角立方体反射器。微机电系统执行器与可移动的角立方体反射器耦合，使可移动的角立方体反射器发生位移，从而延长反射光束的光路长度。