ตัวคูณการหน่วงเส้นทางออปติคอลเชิงกลสำหรับแอปพลิเคชันเมมออปติคัล

บทคัดย่อ:

อุปกรณ์ Micro Electro-Mechanical System (MEMS) แบบออปติคัลมีตัวคูณการหน่วงเส้นทางออปติคอลอุปกรณ์ MEMS ประกอบด้วยตัวสะท้อนแสงมุมลูกบาศก์แบบเคลื่อนย้ายได้ กระจกคงที่ และตัวกระตุ้น MEMSตัวสะท้อนแสงมุมลูกบาศก์ที่เคลื่อนย้ายได้ถูกจับคู่ด้วยแสงเพื่อรับลำแสงที่ตกและสะท้อนลำแสงที่ตกผ่าน 180 องศาไปยังกระจกคงที่กระจกคงที่ถูกรวมเข้าด้วยกันเพื่อสะท้อนลำแสงสะท้อนกลับไปยังตัวสะท้อนแสงมุมลูกบาศก์ที่เคลื่อนย้ายได้ตามเส้นทางย้อนกลับของลำแสงที่เกิดขึ้นตัวกระตุ้น MEMS ถูกเชื่อมต่อกับตัวสะท้อนแสงมุมทรงลูกบาศก์ที่เคลื่อนย้ายได้เพื่อทำให้ตัวสะท้อนแสงมุมลูกบาศก์เคลื่อนที่เคลื่อนย้ายได้มีการเคลื่อนย้ายไปเพื่อขยายความยาวเส้นทางออปติคอลของลำแสงสะท้อนแสง